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首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF勻膠機 > CIF Spin Coater勻膠機

勻膠機

簡(jiǎn)要描述：Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速（通常在500轉/分左右）旋轉的同時(shí)進(jìn)行滴膠，“動(dòng)態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi)，減少光刻膠的浪費，采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕（鋪展覆蓋）整個(gè)基片表面。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用，不會(huì )產(chǎn)生針孔。

  • 產(chǎn)品型號：CIF Spin Coater
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2023-10-12
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：3610

詳細介紹

品牌CIF價(jià)格區間10萬(wàn)-30萬(wàn)
產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,食品,化工,農業(yè)
　　CIF-Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速（通常在500轉/分左右）旋轉的同時(shí)進(jìn)行滴膠，“動(dòng)態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi)，減少光刻膠的浪費，采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕（鋪展覆蓋）整個(gè)基片表面。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用，不會(huì )產(chǎn)生針孔。
 

Spin Coater

 

　　滴膠之后，下一步是高速旋轉。使光刻膠層變薄達到要求的膜厚，這個(gè)階段的轉速一般在1500-6000轉/分，轉速的選定同樣要看光刻膠的性能（包括粘度，溶劑揮發(fā)速度，固體含量以及表面張力等）以及基片的大小?？焖傩D的時(shí)間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉速以及勻膠時(shí)間往往能決定膠膜的厚度。
　　一般來(lái)說(shuō)，勻膠轉速快，時(shí)間長(cháng)，膜厚就薄。影響勻膠過(guò)程的可變因素很多，這些因素在勻膠時(shí)往往相互抵銷(xiāo)并趨于平衡。所以建議給予勻膠過(guò)程以足夠的時(shí)間，讓諸多影響因素達到平衡。
 
　　Spin Coater勻膠機產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　1.采用閉環(huán)控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長(cháng)，保證勻膠均勻。
　　2.5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設置)，可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設置10個(gè)勻膠梯度階段，多100個(gè)階段。
　　3.內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。
　　4、多重安全保護
　　電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開(kāi)傷人；雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗人員安全。
　　5.一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。
　　6.不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán)，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
　　7.勻膠機適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
 
　　CIF-Spin Coater勻膠機技術(shù)參數：
 

型號

轉速（轉/分）

轉速穩定度

勻膠時(shí)間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸（LxWxH）mm

SC1

50-10000

±1％

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250

 

 

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