小型等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現一定的真空度，隨著(zhù)氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(cháng)，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，從而達到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿(mǎn)足刻蝕的需要。
小型等離子清洗機利用等離子處理時(shí)會(huì )發(fā)出輝光，故稱(chēng)之為輝光放電處理。
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
在真空腔體里，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，小型等離子清洗機通過(guò)等體子體轟被清洗產(chǎn)品面．以達到清洗目的。等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、業(yè)態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下可以以第四中狀態(tài)存在，如太陽(yáng)表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類(lèi)物質(zhì)所處的狀態(tài)稱(chēng)為等離子體狀態(tài)，又稱(chēng)位物質(zhì)的第四態(tài)。
等離子體中存在下列物質(zhì)。處于高速運動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應過(guò)程中生成的紫外線(xiàn)；未反應的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
我們在長(cháng)期從事等離子體應用技術(shù)研究和設備研制的基礎上，充分借鑒歐美的先進(jìn)技術(shù)，并通過(guò)與國內外著(zhù)名研究機構的技術(shù)合作，開(kāi)發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權的電容耦合放電、電感耦合放電和遠區等離子放電等多種放電類(lèi)型的產(chǎn)品。特色鮮明的處理腔體形狀和電極結構可以滿(mǎn)足不同形狀、不同材質(zhì)的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。
小型等離子清洗機的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來(lái)看，等離子體清洗通常包括以下過(guò)程：無(wú)機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。
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