勻膠旋涂?jì)x操作簡(jiǎn)單，結構小巧緊湊，占地空間小，為實(shí)驗室提供了理想的解決方案?？捎糜趯?shí)驗室項目建設.作為用于除半導體外,還有硅片、芯片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝，科研、教學(xué)之用。
勻膠旋涂?jì)x的使用注意事項：
1.使用前主要檢查設備與真空泵和氮氣瓶的接口是否漏氣；
2.實(shí)驗時(shí)，依次打開(kāi)設備電源開(kāi)關(guān)，氮氣/干燥氣體瓶閥門(mén)，真空開(kāi)關(guān)，結束時(shí)，先關(guān)真空，再關(guān)氮氣/干燥氣體瓶閥門(mén)；
3.氮氣/干燥氣體的壓力控制不宜過(guò)大建議氮氣瓶氣壓從0.35MPa起緩慢上調，直至設備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調整；
4.嚴禁放置超出設備限定范圍的過(guò)大過(guò)重材料，否則將會(huì )損壞設備的旋控精度；
5.所甩樣片的尺寸要大于吸附盤(pán)有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盤(pán)甩小的樣片就會(huì )產(chǎn)生漏氣，同時(shí)造成膠被吸入抽氣室，導致氣路堵塞；
6.如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤(pán)、光電盤(pán)、電機軸會(huì )黏在一起，造成電機轉不動(dòng),拆卸亦很困難；
7.氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機也可運轉產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機前須確認氣泵的狀況良好及吸片確已吸??；
8.實(shí)驗期間設備閑置時(shí)，為了保護好泵的工作性能，請關(guān)閉真空泵，建議泵的連續作業(yè)不超過(guò)1小時(shí)；
9.實(shí)驗結束后，請拭去設備內腔殘留物，并清空廢液接收罐，使用原片遮住,將設各用塑料封套蓋好以避污染；
10.對于廢液廢氣的排放和處置，請遵守試劑使用的相關(guān)環(huán)保說(shuō)明。
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