LCD的COG組裝過(guò)程，是將裸片IC貼裝到ITO玻璃上，利用金球的壓縮與變形來(lái)使ITO玻璃上的引腳與IC上的引腳導通。由于精細線(xiàn)路技術(shù)的不斷發(fā)展，目前已經(jīng)發(fā)展到生產(chǎn)Pitch為20μm、線(xiàn)條為10μm的產(chǎn)品。這些精細線(xiàn)路電子產(chǎn)品的生產(chǎn)與組裝，對ITO玻璃的表面清潔度要求非常高，要求產(chǎn)品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有機與無(wú)機的物質(zhì)殘留在ITO玻璃上來(lái)阻止ITO電子與IC BUMP的導通性，因此，對ITO玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中，大家都在嘗試利用各種清洗劑進(jìn)行清洗，但由于清洗劑的引入，會(huì )導致由于清洗劑的引入而帶來(lái)其他的相關(guān)問(wèn)題，因此，探索新的清洗方法成為各廠(chǎng)家的努力方向。通過(guò)逐步的試驗，利用
Plasma等離子清洗機的原理來(lái)對ITO玻璃進(jìn)行表面清潔，是比較有效的清潔方法。
在對液晶玻璃進(jìn)行的等離子清洗中，使用的活化氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和有機污染物粒子，因為氧等離子體可將有機物氧化并形成氣體排出。它的*問(wèn)題是需要在去除粒子后加入一個(gè)除靜電裝置，其清洗工藝如下：
吹氣--氧等離子體--除靜電
通過(guò)干式洗凈工藝后的LCD及其電子ITO，潔凈度、粘結性得到大大改善。
下面是經(jīng)過(guò)Plasma等離子清洗機清洗前后的效果差別:
1、使用設備: 等離子大氣壓等離子清洗機；氣體:無(wú)油干燥空氣
2、將20pcs IC Bump向上放置（粘在黃膠紙上），進(jìn)行Plasma清洗，然后再將IC正常熱壓到LCD上，進(jìn)行測試，觀(guān)察產(chǎn)品顯示狀況。
3、將23pcs顯示白條，并且未封硅膠的產(chǎn)品，進(jìn)行Plasma清洗，然后再測試，觀(guān)察白條顯示狀況。
4、取2pcs顯示OK的產(chǎn)品，在同一位置裸露的ITO上沾上汗漬，將其中1pcs進(jìn)行Plasma等離子清洗機清洗，然后產(chǎn)品一起通電，觀(guān)察腐蝕狀況。
產(chǎn)品A經(jīng)過(guò)等離子清洗，產(chǎn)品B不進(jìn)行等離子清洗。通過(guò)連續的通電實(shí)驗后，情況如下：產(chǎn)品A在通電71.5H時(shí)出現*條缺線(xiàn)，通電77H時(shí)出現第二條缺線(xiàn)；而產(chǎn)品B在通電4.5H時(shí)，顯示缺四條線(xiàn)。
從上面的實(shí)驗數據可以看出：
1、等離子清洗時(shí)產(chǎn)生的靜電不會(huì )對產(chǎn)品造成不良；
2、等離子可清洗ITO表面的微量導電臟污，可以改善由于漏電導致的白條現象；
3、等離子清洗可以降低被污染產(chǎn)品的腐蝕速度和腐蝕程度。
從上面的原理分析及實(shí)驗數據可以得出：Plasma等離子清洗機可用于LCD玻璃及LCD—COG半成品玻璃組裝過(guò)程的清洗，來(lái)改善產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩定性。
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